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激光诱导外延生长设备 | LIEG
激光诱导外延生长设备 | LIEG
应用领域
纳米尺度直径、大深宽比孔内填充非晶材料激光诱导外延生长和void消除
产品特点
  • 国内首创,12寸量产设备

  • 激光多脉冲高精度合束调控技术

  • 大光斑、高产能

  • 低至5mJ/cm2的能量密度调控精度

型号LA3381G
激光波长532nm
晶圆尺寸12寸
能量调控精度5mJ/cm2
光斑顶部不均匀性≤1%
焦深范围5mm
工艺效果结晶及void消除